德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列特點與用途

標題：德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列

主要產品

真空傳感器

主要型號

MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空傳感器

MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R

MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R

德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列產品介紹：

德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列

產品介紹（以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R為例）

該產品是一款溫度調節的膜片式真空傳感器，采用電容式測量原理，適用于高精度真空測量。

技術參數：

測量范圍：1.3×10?? - 1.3×10?1 mbar

連接方式：CF法蘭

通徑：16mm

加熱溫度：110°C

接口：RS232和模擬信號

精度：0.15%

外形尺寸：33.8mm×145.7mm

工作原理：

通過電容式膜片測量真空壓力變化，溫度調節確保測量穩定性，數字和模擬接口提供多種數據輸出方式。

德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列優勢特點

? 測量精度高，穩定性好

? 溫度調節功能確保測量一致性

? 多種接口可選，兼容性強

? 結構緊湊，安裝方便

? 符合PCS清潔度標準

德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列主要應用：

德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列產品。

半導體制造設備

科研實驗裝置

真空鍍膜系統